
晶圓點膠貼合是半導體封裝和MEMS製造中的關鍵工藝,其質量直接影響到產品的良率和可靠性。
在晶圓或基板上精確塗布膠水,康耐德智能晶圓點膠貼合視覺檢測係統貫穿其中.

主要檢測點膠過程陷缺,檢測膠型缺陷包括:
1.膠寬/膠高不均:膠線寬度或高度超出規格公差。
2.斷膠:膠線不連續,出現中斷。
3.溢膠:膠水溢出到預定區域之外,可能造成短路或汙染。
4.膠量不足:膠水過少,導致粘結強度不夠或形成空洞。
5.拉絲:點膠頭抬起時產生細絲狀膠絲。
6.氣泡:膠水中混入空氣,形成氣泡,影響粘結強度和密封性。
采用定製化的照明方案結合體高分辨率工業相機,用於檢測斷膠、溢膠、拉絲和大的氣泡。並測量膠線的寬度、麵積、位置坐標、圓度等,與標準值進行比較。
通過激光線掃描,重建膠水的3D輪廓,精確測量膠高和膠量。
將提取的特征與預設的公差範圍進行比對,輸出OK/NG信號。
康耐德智能晶圓點膠貼合視覺檢測係統依賴於對工藝的深刻理解、精準的硬件選型以及強大的軟件算法與AI。成為提升高端製造業智能化水平和產品良率的關鍵核心技術。
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